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富創(chuàng)精密——以精密零部件打通半導(dǎo)體設(shè)備“險(xiǎn)關(guān)要隘”
來(lái)源:證券時(shí)報(bào)網(wǎng)作者:安宇飛2025-06-25 08:05

富創(chuàng)精密已成為全球?yàn)閿?shù)不多能夠?yàn)?納米工藝制程半導(dǎo)體設(shè)備批量提供精密零部件的廠(chǎng)商。

中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展如同“攀登珠峰”,如果把半導(dǎo)體設(shè)備比作“登山靴”,那精密零部件就是“鞋底”,決定著設(shè)備的制造供應(yīng)和升級(jí)迭代,這也曾是國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)被“卡脖子”的環(huán)節(jié)之一。

富創(chuàng)精密是國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件的領(lǐng)軍企業(yè),為半導(dǎo)體設(shè)備提供機(jī)械及機(jī)電零組件、氣體傳輸系統(tǒng)等產(chǎn)品,覆蓋了芯片制造的光刻、刻蝕、薄膜沉積、涂膠顯影等多個(gè)環(huán)節(jié)。目前,富創(chuàng)精密已成為全球?yàn)閿?shù)不多能夠?yàn)?納米工藝制程半導(dǎo)體設(shè)備批量提供精密零部件的廠(chǎng)商。

富創(chuàng)精密創(chuàng)始人、董事長(zhǎng)鄭廣文表示,富創(chuàng)精密主要在三大領(lǐng)域發(fā)力:一是精密金屬零件加工,從OEM(原始設(shè)備制造商)起步,目前半導(dǎo)體領(lǐng)域90%的金屬零部件都能制作并實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化;二是真空閥體等產(chǎn)品類(lèi)的業(yè)務(wù),這些產(chǎn)品很多國(guó)產(chǎn)化程度都比較低,有產(chǎn)品90%都依賴(lài)進(jìn)口,國(guó)產(chǎn)替代空間廣闊;三是氣體傳輸系統(tǒng),這是公司業(yè)績(jī)?cè)鲩L(zhǎng)“新曲線(xiàn)”。

“以7納米芯片為例,已經(jīng)沒(méi)法用機(jī)械方式去挖溝槽,主要靠化學(xué)反應(yīng),而化學(xué)反應(yīng)主要靠氣體。整個(gè)半導(dǎo)體在刻蝕、鍍膜、注入等環(huán)節(jié)都靠氣體,對(duì)氣體傳輸?shù)臐崈舫潭群涂刂凭珳?zhǔn)度提出很高要求。”鄭廣文表示。

目前,氣體傳輸整體系統(tǒng)及關(guān)鍵零組件制造核心技術(shù)的國(guó)產(chǎn)化率仍然較低,氣體傳輸系統(tǒng)零部件市場(chǎng)主要由少數(shù)大型企業(yè)主導(dǎo),而富創(chuàng)精密通過(guò)投資的方式彌補(bǔ)了這一關(guān)鍵環(huán)節(jié)的短板。

鄭廣文表示:“氣體傳輸業(yè)務(wù)的增長(zhǎng)勢(shì)頭非常好。首先是市場(chǎng)的‘絕對(duì)數(shù)量’夠,氣體傳輸系統(tǒng)大約占整個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備銷(xiāo)售額的7%到8%。其次是國(guó)產(chǎn)化空間大,目前該領(lǐng)域進(jìn)口比例較高。最后是富創(chuàng)精密的技術(shù)沒(méi)問(wèn)題,現(xiàn)在各大半導(dǎo)體設(shè)備廠(chǎng)商研發(fā)新工藝,富創(chuàng)精密大多都參與設(shè)計(jì)?!?/p>

校對(duì):冉燕青

責(zé)任編輯: 冉超
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